杨杰提前把沉浸式光刻技让瑞星科技公司研发出来就是为了为懂得决国内现阶段在半导体技巧整体不足的情况。

　　现阶段瑞星科技公司自工件台上的运动精度只能把持在4纳米，制作出来的光刻机只能保证极限制程工艺保持在90纳米的，而三阳光学公司自己现在制作出来的镜片光学数值孔径只能达到，间隔德国蔡司制作出来的镜组还是有不小的间隔。

　　不过今年上半年机床研究院的超高精度设备研发部分会推出超高精度的数控磨床，到明年初三阳光学公司应当能生产出更高数值孔径的镜组出来。

　　瑞星科技公司在光刻机跟刻蚀机的设计跟系统整合方面这些年已经逐步成熟了，这让杨杰有信心在明年就可以大批量的生产出沉浸式光刻机出来，到时候可以大幅地降低国内晶圆厂的建设本钱。

　　现在艾斯摩尔公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻机一套要卖到两千万到五千万美金之间，一座晶圆厂至少需要3到4台，瑞星科技公司到现在已经在国内卖出往了三十多台，在这个上面赚了差未几5亿多美金，光刻机反倒是卖得最多，总共卖出往了六百多台，每台售价在一百八十万美金，差未几赚了十多亿美金，现在国外很多公司也是向瑞星科技公司开端下订单采购刻蚀机。

　　实在从前年开端，瑞星科技公司就开端99下半年年就开端实现了盈利，杨杰这几年总共向瑞星科技公司投进了接近二十多亿美金，现在终于是见到了成效。

　　现在瑞星科技公司的研发职员超过了三千多人，并且积极地跟国内外的公司合作。

　　杨杰利用跟自己跟军方良好的关系，将光刻机的10个分系统、数万个机械件件、100多个传感器分包给了给了国内的上千家研究所和数百家军工企业来完成。

　　瑞星科技公司则是负责这些系统的整合和检测验收，自己重要的精力集中在几个核心系统的研发。

　　军方高层对此非常器重，更要害的是瑞星科技公司定制的这些系统固然请求极为严苛，但是给的订金十分丰富，往年一年交付产品从瑞星科技公司拿到的款项就达到了五十多亿。

　　既然这么赚钱，军方自然是十分舍得下本钱，前年就把所有的生产设备全都更新了一遍，很多设备还是从机床研究院定制的，并且加大了研发投进。

　　现在瑞星科技公司产品线分为pas系列和xt系列，其中pas系列光源为高压汞灯光源，这种机型应用了瑞星科技公司自己设计生产的镜组，镜头是三阳光学公司生产供给的，也采用了步进扫描沉浸式技巧，由于应用了沉浸式技巧，这种波长在365纳米的光源蓝本极限制程只能达到微米，但是现在可以提升到了120纳米，而且价格只

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